摘要: 半导体设备用输送高纯度气体的配管大多数使用高纯度SUS 316L钢管。伴随半导体集成化程度的提高,对使用的配管材料提出了愈来愈高的要求。为了不使配管自身成为污染源,要把非金属夹杂物降低到最低限度;为抑制焊接时产生有害气体,也要求提高钢管的纯净度。新开发的KS 007不锈钢,就是采用VIM-ESR-ESR三重熔炼法生产的,可以满足上述要求的超高纯度SUS 316L钢。为适应更恶劣的腐蚀环境,又在YUS 270钢(20Cr-18Ni-6Mo)的基础上,开发出高纯度的KS 270钢管。